大口徑低溫泵測試系統(tǒng)可為環(huán)模設(shè)備低溫泵提供完整的性能參數(shù)。本文介紹了一種大口徑、大抽速低溫泵的測試系統(tǒng)，對各分系統(tǒng)結(jié)構(gòu)功能進行了詳細描述。其使用流量法和流導(dǎo)法兩種方法提供在1×10-6 Pa 至10 Pa 范圍內(nèi)的抽速、預(yù)冷時間、極限真空度等參數(shù)的測量。此系統(tǒng)同時具有加熱烘烤和可調(diào)節(jié)氣體流量的功能。
隨著環(huán)模設(shè)備容量的不斷增大，真空系統(tǒng)對于大抽速、高真空、清潔無油的低溫泵需求也越來越強，同時對于低溫泵性能測試設(shè)備的要求也隨之提高。本文介紹了一種國內(nèi)最新的大口徑低溫泵測試系統(tǒng)，能完成氮氣等氣體抽速、低溫泵預(yù)冷時間、低溫泵極限真空度的測定，測試罩極限真空小于1×10-6 Pa，控制精度優(yōu)于0.5%F.S。
1、低溫泵測試系統(tǒng)的總體設(shè)計及測試原理
低溫泵測試系統(tǒng)主要由測試罩、真空測量系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)、流量控制系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、循環(huán)水系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集及控制系統(tǒng)等部分組成。其總體設(shè)計原理如圖1 所示。
抽速測試方法分為兩部分，流量法和標(biāo)準(zhǔn)流導(dǎo)法。流量法主要用來得到低真空下(>10-3 Pa)的抽速、測試低溫泵的容許真空度和流量上限；流導(dǎo)法主要是利用分子流下的小孔流導(dǎo)來測試高真空下(<10-3 Pa)泵的抽速等性能參數(shù)。
